中心遮拦非球面主镜Seidel像差拟合分析的优化

• 作者: 伍凡 侯溪 吴时彬 杨力 陈强
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学测量 干涉计量 优化分析 Zernike多项式 中心遮拦干涉图 Seidel像差
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 568-572
• 页数: 5页
• 分类号: O435.2
• 字数: 2871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2006.05.015

摘要

中心遮拦干涉图的圆Zernike多项式拟合存在交叉耦合现象,进而影响到Seidel像差的计算.利用干涉仪数据处理软件提供的Mask功能构造出一系列不同遮拦比的中心遮拦干涉图并计算出其圆Zernike拟合系数,结合自编软件判断出被测非球面镜的中心遮拦比对于5项Seidel像差是否达到阈值,给出了具体的实现流程,并对口径为700 mm、中心遮拦比为0.23的抛物面主镜进行了实验研究.分析结果表明,该优化分析方法简单易行,基于标准干涉数据处理软件,无需编写复杂的数据格式转化和多项式拟合程序,即可得到相对较准确的Seidel像差估计值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴时彬	中国科学院光电技术研究所	52	587	16.0	22.0
2	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
3	侯溪	中国科学院光电技术研究所	28	403	12.0	19.0
7	杨力	中国科学院光电技术研究所	66	783	17.0	26.0
8	陈强	中国科学院光电技术研究所	80	815	18.0	25.0