一种凸非球面反射镜的检验方法

• 作者: 叶璐 张金平 胡文琦 郑列华
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 几何光学 凸非球面反射镜检测 半反半透透镜 三级像差理论 光学系统设计
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 基础光学
• 页码范围: 278-283
• 页数: 6页
• 分类号: O435.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2019.03.004

摘要

凸非球面的面形检测是光学检验中的一大难题,提出了一种利用半反半透凹面自准单透镜检验凸非球面反射镜的方法.单透镜由凸、凹两个球面构成,凹面为半反半透自准面,使经非球面反射的光线可沿原路返回,从而实现补偿检验.该方法具有结构简单、检测能力强、无中心遮拦等优点.基于三级像差理论推导了检验系统的初始结构计算公式,给出了不同凸非球面反射镜检验系统的关键参数关系曲线.以r03=2000 mm、e2=-2.4的凸非球面反射镜为例,求解相应初始结构参数,利用Zemax软件优化得到了系统残余波像差小于0.05λ.设计和仿真结果表明所提出的半反半透凹面自准单透镜的检验方法有利于检验各类凸非球面反射镜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑列华	中国科学院上海技术物理研究所	20	59	4.0	6.0
2	张金平	中国科学院上海技术物理研究所	36	302	11.0	16.0
3	叶璐	中国科学院上海技术物理研究所	8	23	3.0	4.0
4	胡文琦	中国科学院上海技术物理研究所	6	11	2.0	3.0