矩形离轴非球面反射镜双摆法加工与检测

• 作者: 宋淑梅
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学加工 离轴非球面 双摆法 4测杆法
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 光学设计与工艺
• 页码范围: 975-981
• 页数: 7页
• 分类号: TH162
• 字数: 5759字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140706.0975

摘要

介绍了一种轻质矩形离轴非球面反射镜的加工与检测方法。针对矩形离轴非球面镜这种直角效应的加工难点，提出双摆式加工工艺，并设计改造双摆式加工机床使该方法得以实现。采用该方法加工完成某多光谱仪光学系统中4块矩形离轴非球面反射镜（其中最大尺寸为266 mm ×110 mm），最终加工得到的面形精度均优于0.020λ（RMS，＠633 mm）的设计指标要求。加工结果表明，用该加工技术既提高了光学加工效率又利于得到较为平滑的面形质量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋淑梅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	139	5.0	11.0