矩形离轴非球面反射镜的数控加工

• 作者: 张学军 张峰 郑立功
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面加工 离轴非球面 计算机控制光学表面 虚拟加工
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 先进加工制造技术
• 页码范围: 113-117
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171.684
• 字数: 2200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.01.021

摘要

针对离轴TMA结构空间相机中使用的两块离轴非球面反射镜的加工过程,提出了一种新型的矩形离轴非球面的最接近球面半径的求解及其优化方法,并且开发了基于计算机虚拟加工技术的CCOS工艺参数计算方法.被加工工件分别为165 mm×100 mm的矩形凸面离轴非球面和770 mm×200 mm的矩形轻量化凹面离轴非球面,设计精度分别为任意100 mm,200 mm子孔径面形精度优于0.025 λRMS(λ=632.8 nm).经检验,工件的加工精度满足了设计要求,分别达到了0.023 λRMS和0.013 λRMS.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张峰		28	468	8.0	21.0
2	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心	124	1634	25.0	33.0
3	郑立功	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心	39	386	12.0	19.0