离子束抛光加工矩形离轴非球面镜

• 作者: 周林 廖文林 戴一帆 王建敏 袁征 解旭辉
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束抛光 离轴非球面 去除函数 材料去除特性
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 机电工程·信息工程
• 页码范围: 100-104
• 分类号: TG171.68
• 字数: 2069字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2486.2011.01.021

摘要

采用一种简单的方法使用线性三轴离子束系统实现了矩形离轴非球面镜的抛光加工.根据离子束材料去除机理,分析了去除函数的法向材料去除特性,并且以去除函数束径、峰值去除速率和体积去除速率为指标,评价了入射角的小扰动鲁棒性.利用相关的分析和实验结果,对矩形离轴镜的抛光加工进行了合理的简化,并在自行研制的离子束抛光机床上进行了修形试验,经过多次迭代加工后,总计用时584min,其面形精度均方根误差RMS由初始的0.295λ,提高到0.046λ,收敛率达到了6.4.实验结果表明,利用离子束抛光独特的材料去除特性,能够有效地改善面形精度,可以对非球面镜进行高效高精度修形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科技大学机电工程与自动化学院	109	1657	23.0	33.0
2	解旭辉	国防科技大学机电工程与自动化学院	44	582	14.0	22.0
3	王建敏	国防科技大学机电工程与自动化学院	9	98	6.0	9.0
4	周林	国防科技大学机电工程与自动化学院	32	408	12.0	19.0
5	袁征	国防科技大学机电工程与自动化学院	5	68	5.0	5.0
6	廖文林	国防科技大学机电工程与自动化学院	4	98	4.0	4.0