离子束抛光轨迹段划分及进给速度求解

• 作者: 唐才学 王健 邓文辉 钟波 陈贤华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束抛光 等效驻留时间 去除函数 等步长法 自适应步长法
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 光学元件
• 页码范围: 3292-3296
• 页数: 5页
• 分类号: TH161
• 字数: 2831字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132512.3292

摘要

针对光学元件高精度确定性加工,提出并实现了基于自适应步长算法实现离子束抛光轨迹段划分及进给速度求解.首先,对常规的等步长算法实现抛光轨迹段划分所存在的诸多问题进行了重点分析.其次,针对这些问题,提出了等效驻留时间轮廓计算方法及自适应步长算法,有效地避免了等步长法所存在的问题.然后,采用新算法对φ600mm平面反射元件进行了实例计算,经加工后,元件98％口径内的面形精度峰谷(PV)值由110.22 nm(λ/5.7,λ=632.8 nm)收敛至4.81 nm(λ/131.6).最后,基于自研的离子束抛光设备,实现了光学元件在φ100 mm口径内面形PV值小λ/70的超高面形精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王健		25	165	9.0	11.0
2	钟波		7	40	5.0	6.0
3	陈贤华		11	72	6.0	8.0
4	邓文辉		2	10	2.0	2.0
5	唐才学		5	31	4.0	5.0