离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术

• 作者: 匡龙 吴时彬 景洪伟 曹学东 李杰 林长青
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 离轴非球面镜 三坐标测量机 面形误差 精磨
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 2665-2668
• 页数: 4页
• 分类号: O439
• 字数: 2180字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122411.2665

摘要

提出了使用三坐标测量机(CMM)对离轴非球面镜进行测量的方法.通过CMM对离轴非球面镜镜面进行自动测量,获得实际面形的三维坐标数据,并与理论离轴非球面镜模型进行分析比较,得到实际镜面的面形误差值和均方根值；依据CMM的测量结果,完成了对离轴非球面镜精磨阶段的加工,解决了目前离轴非球面镜精磨阶段难于检测,以至于无法加工的问题.随着离轴非球面镜顺利进入抛光阶段,使用CMM实现了离轴非球面镜精磨检测与抛光检测的无缝对接.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴时彬	中国科学院光电技术研究所	52	587	16.0	22.0
2	李杰	中国科学院光电技术研究所	125	1027	17.0	27.0
3	曹学东	中国科学院光电技术研究所	23	250	9.0	15.0
4	匡龙	中国科学院光电技术研究所	5	48	4.0	5.0
5	林长青	中国科学院光电技术研究所	16	83	5.0	8.0
6	景洪伟	中国科学院光电技术研究所	8	53	4.0	7.0