离轴非球面的计算全息图高精度检测技术

• 作者: 张学军 罗霄 薛栋林 赵晶丽 郑立功 黎发志
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 计算全息图 衍射光学元件加工 离轴非球面 光学检测
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 709-716
• 分类号: TQ171.65|O438.2
• 字数: 3635字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111904.0709

摘要

为了实现离轴非球面高精度定位、光路对准及面形检验,提出了一种使用计算全息图(CGH)技术实现离轴非球面高精度光学检测的方法.将被检非球面倾斜平移后作为轴上自由曲面进行CGH补偿检测设计,从而减小了检测光路的相对口径和CGH所需补偿像差,提高了CGH检测精度.使用自行开发的CGH专用设计计算软件,设计完成的CGH同时具有非球面检验、检测光路对准、被检非球面基准定位等多项功能.采用该方法设计(设计精度优于λ/10 000 rms)并制作CGH对面形精度优于λ/50 rms的离轴非球面进行了检测,误差分析表明,其检测精度优于λ/100,与传统null-lens方法的检测结果精确吻合.实验表明,采用该CGH可同时实现离轴非球面位置高精度定位、CGH与干涉仪对准以及离轴非球面高精度面形检验.