应用双摆动技术加工离轴碳化硅反射镜

• 作者: 宋淑梅 李俊峰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅反射镜 离轴非球面 双摆动技术 光学加工
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1669-1675
• 分类号: TH703|TN305.2
• 字数: 3233字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122008.1669

摘要

研究了用双摆动技术抛光离轴非球面的工艺.介绍了用双摆动抛光加工离轴非球面的原理,分析了双摆动抛光过程中抛光盘与工件的相对运动特性及各个工艺参数对相对运动路径的影响.建立了双摆动抛光运动的数学模型,进行了计算机仿真,并对不同参数下的仿真结果进行了比较.给出了抛光模形状模型,实验验证了不同形状抛光模的材料去除特性.应用双摆动技术加工了一个224 mm× 108 mm离轴碳化硅反射镜,结果显示:应用该技术加工离轴非球面镜可以有效抑制光学表面中频误差,具有较高的材料去除效率,面形精度可以稳定达到λ/30(rms,@633 nm).因此,双摆动抛光技术的研究有助于推动离轴非球面制造技术的发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋淑梅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室	13	139	5.0	11.0
2	李俊峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室	29	122	7.0	9.0