固着磨料加工碳化硅反射镜的实验

• 作者: 刘建卓 张学军 徐领娣 王旭 裴舒
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅反射镜 固着磨料 丸片 去除率 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 771-777
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.65|TN304.05
• 字数: 2762字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.04.013

摘要

考虑固着磨料加工工艺其固着磨料与工件相对运动关系固定,有利于精确加工,提出了采用该工艺加工碳化硅反射镜的方法,利用大颗粒金刚石磨料快速加工出了较好的镜面质量.在工艺实验中,分别测得了W7,W5,W3.5,W1.5 固着磨料丸片在特定转速和压力下对碳化硅材料的去除特性.对多组去除量曲线的分析表明,此工艺不仅有着较高的去除率,而且稳定性良好.对表面粗糙度测量的结果表明,使用W7丸片即可获得粗糙度为42.758 am rms的镜面.减小所用丸片的粒度,工件表面粗糙度随之减小,使用WI.5丸片抛光后,最终获得了粗糙度为1.591 nm rms的光滑镜面.实验结果表明,固着磨料加工碳化硅反射镜工艺在粗研、精研、粗抛等加工阶段内可以取代传统的散粒磨料加工工艺.