表面改性碳化硅基底反射镜加工技术现状

• 作者: 宣斌 康健 谢京江
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学加工 碳化硅 碳化硅反射镜 表面改性
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 824-833
• 页数: 10页
• 分类号: TH706|TN304.24
• 字数: 7011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20130606.0824

摘要

针对表面改性SiC基底反射镜在空间光学系统中的应用，总结了该类反射镜在国内外的研究现状。概括了碳化硅基底反射镜的发展趋势。介绍了常用的碳化硅材料，分析了它们的性质。给出了几种常用的碳化硅镜坯制备工艺，包括成型、改性和不同的抛光技术。通过对国内现有加工工艺和改性技术的分析，总结出了适应我国的表面改性碳化硅反射镜加工的发展方向。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康健	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室	6	60	3.0	6.0
5	宣斌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室	8	38	3.0	6.0
6	谢京江	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室	11	47	4.0	6.0