大口径碳化硅反射镜数控抛光工艺

• 作者: 刘夏来 朱衡 鄢定尧 马平 黄金勇
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径光学元件 碳化硅 表面质量 快速收敛 参数优化 抛光
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 光学元件
• 页码范围: 3311-3314
• 页数: 4页
• 分类号: TG356.28
• 字数: 1589字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132512.3311

摘要

研究了针对600 mm口径方形轻质碳化硅元件的数控抛光工艺过程,采用国产OP1000数控研磨抛光机床对一块600 mm×480mm的方形碳化硅元件进行数控抛光加工.在经过两周的加工时间,碳化硅光学元件的通光口径均方根(RMS)值收敛到了35 nm(大约为λ/18,λ=632.8 nm).在加工过程中针对大口径椭圆形碳化硅反射镜采用了合适的加工参数优化,例如在加工过程中的不同阶段选择了不同颗粒度的金刚石微粉作为特定阶段的抛光辅料以保证光学元件的表面粗糙度.对计算机控制数控加工技术的快速收敛过程也进行了阐释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鄢定尧		10	56	4.0	7.0
2	刘夏来		5	13	2.0	3.0
3	马平		54	355	11.0	15.0
4	黄金勇		3	4	1.0	2.0
5	朱衡		3	8	2.0	2.0