RB-SiC反射镜的材料制备、表面改性及非球面加工

• 作者: 金光 闫勇
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: RB-SiC反射镜 表面改性 非球面加工 加工周期
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1750-1756
• 分类号: V475.3|TQ171.68
• 字数: 3842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111908.1750

摘要

针对RB-SiC反射镜工程实践中暴露的一些问题,对RB-SiC反射镜的材料制备、表面改性及非球面加工等技术进行了研究.首先,依据其改性特殊性,选取了与RB-SiC反射镜材料热胀系数匹配的新型支撑材料进行热匹配设计.接着,依据实际工程情况对非球面加工工艺及流程进行技术改进,以提高加工的可靠性.最后,采用试验的方法对RB-SiC反射镜的相关加工方法进行了试验验证.试验结果表明,改性后RB-SiC反射镜完好,改性前后镜面面形精度RMS值变化量仅为0.017λ(λ=623.8 nm),变化率为13％,非球面加工周期缩短了1～2月.该技术确保了RB-SiC反射镜10 μm的改性膜层在后续加工中的加工余量,使其不易被磨漏,提高了加工的安全性,缩短了非球面加工周期,该技术亦适用于其它SiC反射镜的制备及非球面加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	202	2450	24.0	39.0
2	闫勇	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	268	9.0	15.0