反应连接230 mm口径RB-SiC反射镜

• 作者: 张斌智 张舸 董德义
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 反应连接 碳化硅 RB-SiC反射镜 表面轮廓
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2360-2364
• 分类号: TN305|TH703
• 字数: 1540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122011.2360

摘要

针对传统工艺难以制备口径大于1.2m的整块反射镜的问题,提出了反应连接制备大口径RB-SiC反射镜的工艺.该工艺在素坯阶段实现连接,一次反应烧结完成坯体的致密化和镜体的连接.采用该工艺制备了230 mm口径的RB-SiC反射镜,并使用FSGJ-2光学数控机床对反射镜进行了研磨、粗抛光和精抛光加工,其镜面面形精度RMS值达到了λ/50(λ=632.8 nm).在环境温度(20±3)℃检测了连接反射镜,其面形变化RMS值小于λ/300,热循环试验前后连接反射镜面形没有明显变化;连接镜体表面在焊缝处粗糙度Ra＜3.3 nm,连接层与基体的显微结构基本相似,热性能相匹配.研究结果表明,用新型反应连接技术制成的RB-SiC反射镜可以满足空间光学应用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张舸	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中科院光学系统先进制造技术重点实验室	16	199	8.0	14.0
2	张斌智	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中科院光学系统先进制造技术重点实验室	5	13	2.0	3.0
6	董德义	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中科院光学系统先进制造技术重点实验室	1	2	1.0	1.0