4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统

• 作者: 刘振宇 张学军 罗霄 胡海飞 赵宏伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超大SiC反射镜 原位光学检测 静压支撑系统 刚度差异 面形精度
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 地基大口径光学工程
• 页码范围: 2607-2613
• 页数: 7页
• 分类号: TH743|TH703
• 字数: 2334字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172510.2607

摘要

研制了一套用于4 m SiC反射镜原位检测的静压支撑系统,以降低超大口径SiC反射镜离线检测的风险,提高其制造效率.首先,推导了单元刚度的解析式,确定了其中关键因素;然后,对支撑单元进行抽样测试,结合解析式预测了支撑群组中单元的工作刚度.最后,通过密封性测试和反射镜原位检测,验证了支撑系统的稳定性;通过有限元模拟,计算了系统的重力卸载面形精度.结果表明:5个单元连组时,单元刚度约为1.9 kN/mm,刚度值分布在±3％ 误差区间;独立单元刚度可高至15 kN/mm;3种分组单元刚度预测值分别为1.7,1.1和0.8 kN/mm.支撑系统空载时管路压强变化缓慢,表明密封性良好;用该系统支撑4 m反射镜时,11天内高度绝对变化量小于50μm,相对变化量小于20μm.54个单元刚度随机分布时,镜面面形高阶残差(RM S)为20 nm.提出的系统基本满足原位检测的稳定性和精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宏伟	吉林大学机械科学与工程学院	212	1233	19.0	27.0
2	刘振宇	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	159	3059	31.0	48.0
3	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	124	1634	25.0	33.0
4	胡海飞	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	24	3.0	4.0
6	罗霄	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	23	3.0	4.0