Φ4m口径凹抛物面镜折反零位补偿检验

• 作者: 何勇 叶璐 胡文琦 郑列华
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 几何光学 大口径非球面检验 折反射式零位补偿检验 三级像差理论 光学系统设计
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 基础光学
• 页码范围: 394-399
• 页数: 6页
• 分类号: O435
• 字数: 2329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2017.04.003

摘要

折反射式零位补偿检验是一种综合了Offner折射式和Maksutov反射式补偿检验优点的凹非球面检验方法,补偿能力强,检测光路紧凑.大口径和大相对孔径非球面检验是制约其加工质量提高的难题,针对口径为4m、偏心率为1、顶点曲率半径为16 m的大口径凹抛物面反射镜,设计了折反射式零位补偿器.基于三级像差理论对补偿器的初始结构进行了规划和计算,采用Zemax软件对初始结构参数进行了优化,得出了补偿器的最终结构,检验光路轴向尺寸约12 m,系统优化后剩余波相差为0.005λ.设计和仿真结果表明,这种折反射式零位补偿器对大口径凹菲球面镜的加工检测是非常有利的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何勇	南京理工大学电子工程与光电技术学院	131	768	13.0	20.0
2	郑列华	中国科学院上海技术物理研究所	20	59	4.0	6.0
3	叶璐	中国科学院上海技术物理研究所	8	23	3.0	4.0
4	胡文琦	南京理工大学电子工程与光电技术学院	6	11	2.0	3.0