相干电子束实验装置的研制

• 作者: 于洁 张兆祥 张耿民 柏鑫 薛增泉 赵兴钰
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 相干电子束 点投影显微镜 场发射显微镜
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 场发射与真空微纳电子会议专辑
• 页码范围: 51-53,67
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 2312字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2006.01.015

摘要

相干电子束能提供样品上许多重要的信息,点投影显微镜是研究电子束相干特性的有利工具,而高亮度相干电子束可以大大改善电子光学系统空间分辨和能量分辨,可以应用于电子全息摄影和电子干涉测量等领域.本实验装置包括三种模式:①点投影显微镜模式,可以用来研究相干电子束特性;②场离子显微镜模式,可以研究表面原子结构,提供具有原子分辨的实空间原子排列信息;③场发射显微镜模式,可以研究针形样品的场发射特性.这三种模式在一个超高真空系统中可以实时互换.目前实验装置已经达到3.1×10-8Pa压强,并观测了电子显微镜栅网的放大像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张耿民	北京大学信息科学技术学院电子学系	26	189	8.0	13.0
2	张兆祥	北京大学信息科学技术学院电子学系	26	156	7.0	11.0
3	薛增泉	北京大学信息科学技术学院电子学系	66	466	11.0	19.0
4	于洁	北京大学信息科学技术学院电子学系	73	239	7.0	11.0
5	赵兴钰	北京大学信息科学技术学院电子学系	28	187	7.0	13.0
6	柏鑫	北京大学信息科学技术学院电子学系	2	6	2.0	2.0