基于空间光调制器的灰度掩模制作环形光栅

• 作者: 何兴道 鲁开源
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 工学
• 关键词: 空间光调制器 灰度掩模 环形光栅 二元光学
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 光电器件与材料
• 页码范围: 41-42
• 页数: 2页
• 分类号: TN366
• 字数: 1307字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1255.2006.05.011

摘要

介绍了基于空间光调制器的灰度掩模系统制作环形光栅.将二元光学方法与环形光栅的概念结合起来,为制作可以集成到光电系统的环形光栅以及其他光学元件提供了一条较好的思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何兴道		83	415	10.0	17.0
2	鲁开源		1	1	1.0	1.0