炭/炭复合材料化学气相沉积工艺进展

• 作者: 于澍 张传福 熊翔 黄伯云 黄启忠
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 炭/炭复合材料 化学气相沉积(CVD) 工艺
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 262-267
• 页数: 6页
• 分类号: TB332
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0224.2006.05.002

摘要

对多种化学气相沉积工艺进行了分析对比, 指出在炭/炭复合材料的研制与开发中, 以等温等压(ICVD)的工艺为最优. 该工艺能很好地控制工艺参数, 特别是对于装了大量异形件的高炉膛, 所沉积的样件不仅密度均匀而且性能稳定, 虽然其工艺周期较长, 但在实际生产中, 可以通过多料柱的高炉膛来降低成本, 是比较成熟、稳定的生产工艺. 近年来兴起的其他工艺, 主要关注沉积速度和沉积机理, 大多局限于实验室研究, 距工业化大生产还有很大的距离.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊翔	中南大学粉末冶金国家重点实验室	345	3793	27.0	39.0
2	黄伯云	中南大学粉末冶金国家重点实验室	607	8891	43.0	60.0
3	于澍	中南大学粉末冶金国家重点实验室	24	239	10.0	14.0
4	张传福	中南大学粉末冶金国家重点实验室	113	1686	23.0	33.0
5	黄启忠	中南大学粉末冶金国家重点实验室	161	1430	20.0	30.0