洁净室气态分子污染物的监测技术

• 作者: 于自强 田世爱 赵树奎 迟宏伟
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: 洁净室 气态分子污染物 监测 控制
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 专题研讨
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: TU8
• 字数: 3929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2006.02.004

摘要

随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小,气态分子污染物(AMC)对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题.文章介绍了洁净室中AMC的定义,重点阐述了AMC的监测技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田世爱		9	96	4.0	9.0
2	于自强		6	28	3.0	5.0
3	赵树奎		1	10	1.0	1.0
4	迟宏伟		2	11	1.0	2.0