基于旋滤波法的干涉条纹预处理技术

• 作者: 徐建程 柴立群 许乔 邓燕
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 干涉测量 干涉条纹分析 傅里叶变换 中值旋滤波法
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: TN012
• 字数: 2059字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种新的基于旋滤波法的干涉条纹预处理方法.该方法根据条纹图灰度值梯度分布规律,只在干涉条纹切线方向进行中值滤波,它能有效地处理各种相干噪声而不会使条纹变模糊.实验证明该方法能有效地去除随机噪声、椒盐噪声以及由于光照不均匀引起的较大面积的亮斑或暗斑等噪声.对于亮斑或暗斑,其滤波效果要明显优于Gerchberg外插迭代算法.以WYKO相移干涉仪5次测量的面形平均值作为被测面形的参考值,则经过预处理后,抑制了噪声引起的局部误差,傅里叶变换法计算得到PV值的误差从未预处理的14.4%(全口径)、13.1%(95%口径)分别减小到3.4%(全口径)、1.5%(95%口径);RMS误差从28.7%(全口径)、23.3%(95%口径)分别减小到5.0%(全口径)、2.3%(95%口径).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许乔		82	1074	17.0	27.0
2	徐建程		20	191	9.0	13.0
3	柴立群		32	329	12.0	16.0
4	邓燕		15	144	8.0	11.0