超声清洗与激光预处理对减反膜阈值的影响

• 作者: 崔云 范正修 贺洪波 赵元安 邵建达
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 超声清洗 激光预处理 减反膜 激光损伤
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 1712-1716
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1554字
• 语种: 中文

摘要

研究了超声清洗和激光预处理两种后处理手段对减反膜的损伤特性的影响.采用电子束蒸发技术制备了1 064 nm减反膜,利用超声清洗及激光预处理的方法分别对样品进行处理,并对处理前后的样品分别进行激光损伤阈值测试及破斑深度测量.结果表明:处理后减反膜的损伤阈值均有所提升,但激光预处理的阈值增强效果更加明显;超声清洗前后的破斑深度没有大的变化,而激光预处理后的破斑深度比处理前浅得多;原因在于超声清洗只能去除表面杂质,激光预处理可减少和抑制膜层内较深处的缺陷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	贺洪波	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	491	16.0	19.0
4	赵元安	中国科学院上海光学精密机械研究所	47	315	11.0	15.0
5	崔云	中国科学院上海光学精密机械研究所	21	153	8.0	12.0