质谱仪真空系统的故障诊断及使用维护

• 作者: 张延 杜珊
• 来源期刊: 合肥学院学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 质谱仪 真空 空气泄漏 故障诊断 维护
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 分类号: TB773

摘要

介绍了质谱仪器的真空要求和当前普遍使用的真空系统，并以Agilent6890—5973N型气质联用仪为例，讨论了空气泄漏的症状、诊断方法及真空系统的日常维护．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张延		9	70	4.0	8.0
2	杜珊		1	0	0.0	0.0