CO2激光切割PCR生物芯片储液池参数的研究

• 作者: 刘世炳 武强 苏奇名 陈涛 鲍勇
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光切割 激光功率 切割速度 离焦量
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 2484字
• 语种: 中文

摘要

针对生物芯片中广泛应用的高聚物材料,利用其对波长为10.6 μm的CO2激光具有良好的吸收性这一特点,对生物芯片储液池进行加工.根据理论分析,提出影响切割表面粗糙度的主要因素在于激光功率P、切割速度Ve和离焦量L,并结合实验数据通过函数拟合得出经验公式,采用CO2激光加工的PCR生物芯片储液池,其切割面粗糙度可达0.05 μm,加工速度可达1 m/min,使生物芯片的批量生产和广泛应用向前迈出一大步.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈涛	北京工业大学激光工程研究院	77	383	12.0	17.0
2	刘世炳	北京工业大学激光工程研究院	33	139	7.0	10.0
3	鲍勇	北京工业大学激光工程研究院	14	207	7.0	14.0
4	武强	北京工业大学激光工程研究院	15	55	5.0	7.0
5	苏奇名	北京工业大学激光工程研究院	2	10	2.0	2.0