Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验

• 作者: 尼启良
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: Xe液体微滴喷射靶 激光等离子体光源 极紫外投影光刻
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 939-943
• 页数: 5页
• 分类号: TN241|TL653
• 字数: 2302字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.06.002

摘要

基于Xe的惰性和在13～14 nm波段高的辐射强度,Xe被认为是极紫外投影光刻(EUVL)潜在的靶材,为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体(LPP)极紫外光源.详细地研究了Xe液体微滴喷射靶的光谱辐射特性、在13.4 nm的激光-EUV转换效率、辐射稳定性及碎屑产生状况.实验结果表明,Xe在13.4 nm的最高转换效率可以达到0.75%/2πsr/2%bw,辐射稳定性±4%(1σ),在激光打靶105次后无碎屑产生.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尼启良		11	101	6.0	10.0