陶瓷微结构的制作研究

• 作者: 刘刚 朱学林 熊瑛 王俊 田扬超 郭育华
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷微结构 陶瓷微反应器 同步辐射曝光 压模
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.82
• 字数: 1631字
• 语种: 中文

摘要

研究了一种制作高精度、大高宽比高铝陶瓷微器件的工艺方法.首先利用同步辐射曝光,制作出带有微结构的PMMA模具.模压后,溶去模具,在1 700 ℃烧结成型.利用这种工艺,获得了宽度23 μm,高度400 μm的陶瓷微结构.同时,利用该工艺进行了陶瓷微反应器的初步研制,实现了陶瓷微管道的加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王俊	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	130	1155	16.0	27.0
2	刘刚	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	207	2369	24.0	40.0
3	熊瑛	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	13	48	4.0	6.0
4	田扬超	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	372	12.0	17.0
5	郭育华	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	5	18	2.0	4.0
6	朱学林	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	11	73	5.0	8.0