三氯硅烷的制备及精制工艺进展

• 作者: 于剑昆
• 来源期刊: 无机盐技术
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯硅烷 三氯氧硅 卤代硅烷 制备 精制
• 年，卷（期）: wjyjs_2006,（4）
• 页码范围: 22-28
• 页数: 7页
• 分类号: TQ264.1

摘要

重点描述了三氯硅烷（HSiCl3）的制备和精制工艺．HSiCl3的工业化合成方法主要有Si氨氯化法和SiCl4-H2还原法2种．结合使用先进的精制工艺．产品可满足高端电子产品的需求。同时介绍了HSiCl3的物理和化学性质、应用及经济概况。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于剑昆		86	542	13.0	17.0