CFD技术在洁净室气流组织设计中的应用

• 作者: 卢启明 魏琪 黄闻华
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: 洁净室 气流组织 CFD 湍流模型
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 专题研讨
• 页码范围: 7-11
• 页数: 5页
• 分类号: TU8
• 字数: 3145字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2006.02.003

摘要

本文运用CFD技术作为辅助工具对一ISO5级洁净室内的气流组织进行设计.我们采用CFD技术对光刻胶研发实验室内的气流组织和微尘污染进行了研究.研究中采用了k-ε模型,并用FLUENT软件进行求解.对多种洁净室的气流组织方案进行了数值模拟,并选择优化方案建造了实验室,对此实验室测试了多组数据并与数值模拟的结果进行比较,表明数值模拟的结果是准确的.说明了CFD技术是洁净室设计的可靠辅助工具.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏琪	苏州大学热能与动力工程系	23	104	6.0	8.0
2	黄闻华	江苏大学能源与动力工程学院	2	18	2.0	2.0
3	卢启明		3	17	1.0	3.0