金属氧化物掺杂对ZnO气敏特性的影响

• 作者: 孙以材 李辉 杜鹏 潘国锋 邱美艳
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO 掺杂 金属氧化物 气敏特性
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 技术综述
• 页码范围: 10-14
• 页数: 5页
• 分类号: TM201.4
• 字数: 4553字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2006.07.002

摘要

掺杂金属氧化物可大大提高ZnO的气敏特性,目前对这种性质的研究成为了研究热点.本文综述了掺杂金属氧化物对ZnO气敏特性的主要影响及机理;总结了目前研究中所掺杂的多种金属氧化物,并就各种掺杂物对ZnO气敏特性的作用进行了具体分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子研究所	117	1247	18.0	31.0
2	李辉	河北工业大学微电子研究所	46	263	10.0	14.0
3	潘国锋	河北工业大学微电子研究所	11	64	5.0	7.0
4	邱美艳	河北工业大学微电子研究所	5	43	4.0	5.0
5	杜鹏	河北工业大学微电子研究所	4	35	4.0	4.0