基于等色干涉的膜分析

• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 厚度 等色干涉 光谱仪器
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 实验技术与技巧
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: O436.1|TN247
• 字数: 2091字
• 语种: 中文

摘要

基于膜等色干涉原理,将等色干涉条纹与已知线光谱在光谱仪谱面上叠加,通过对干涉条纹宽度及其变化的测量,可计算出膜厚、膜厚突变、膜厚渐变等.对膜进行扫描分析,膜的面积达10-2 mm2数量级即可进行测量.