基于微电子系统(MEMS)加速度地震勘探三分量数字检波器简介

• 作者: 张莉 李秀荣 解文荣
• 来源期刊: 中国煤田地质
• 学科: 地球科学
• 关键词: MEMS 传感器 三分量数字检波器 地震仪器
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 物探·钻探
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: P613.436
• 字数: 2521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-1803.2006.02.018

摘要

基于微电子机械系统(MEMS)制成的微加速度三分量数字地震检波器,集数据采集、处理及传输功能于一体,在结构模型、工作原理、性能指标控制等方面不同于常规检波器,其信号幅值在低于自然频率范围内没有衰减.因其独特的制造技术,MEMS检波器具有超低噪声,大动态范围和极高的向量保真度性能.