分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析

• 作者: 余洪斌 刘彦 向晓燕 吴鹏 杨国元 陈海清
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微变形反射镜 力电耦合 自适应光学 静电驱动 镜面变形
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 15-20
• 页数: 6页
• 分类号: TN256
• 字数: 3579字
• 语种: 中文

摘要

针对基于MEMS技术制造的连续面型薄膜微变形反射镜,从薄膜理论出发对其力电耦合变形特性进行理论分析,导出了镜面变形表达式.利用该式及响应频率表达式,定量分析了镜面相关尺寸参数对变形量的关系,为变形镜的结构设计提供了可靠的理论依据.结果表明,当镜面厚度为1 μm且与驱动电极间距20 μm时,对控制电压不超过120 V,响应频率大于50 kHz的应用场合,变形镜镜面半径应在2.1～13.8 mm之间进行选择.仿真结果显示,驱动电压较小时,镜面变形与驱动电压平方近似成线性关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈海清	华中科技大学光电子工程系	95	682	14.0	18.0
2	刘彦	华中科技大学光电子工程系	27	184	8.0	12.0
3	余洪斌	华中科技大学光电子工程系	23	160	8.0	11.0
4	吴鹏	华中科技大学光电子工程系	40	182	7.0	12.0
5	向晓燕	华中科技大学光电子工程系	5	25	3.0	5.0
6	杨国元	华中科技大学光电子工程系	5	25	3.0	5.0