基于伺服自动聚焦的精密激光位移传感器研究

• 作者: 李婷 王芸 解旭辉
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 微位移传感器 光驱激光头 自动聚焦探测 自动搜寻法 S曲线法
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 212-215
• 页数: 4页
• 分类号: TB921
• 字数: 2282字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.03.003

摘要

研究开发了一种低成本、高精度的非接触式激光微位移传感器.该传感器采用光驱内激光头作为探测元件,利用其自动聚焦原理开发了S曲线法,同时提出了一种新的测量方法--自动搜寻法,将这两种方法相结合,用来测量复杂物体表面的面形,既可进行大量程的测量,也可进行较小量程内高分辨率的测量.大量程(1.8mm)内分辨率为2μm,在较小量程(200μm)内可达0.2 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解旭辉	国防科技大学机电工程与自动化学院机电工程系	44	582	14.0	22.0
2	李婷	国防科技大学机电工程与自动化学院机电工程系	16	48	4.0	5.0
3	王芸	国防科技大学机电工程与自动化学院机电工程系	8	44	4.0	6.0