基于光学微腔的MOEMS微位移传感器

• 作者: 严英占 刘俊 刘正 闫树斌
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: 位移传感器 环形谐振腔 光波导 微光机电系统
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 1-3,16
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9944.2011.02.001

摘要

该MOEMS微位移传感器是一种基于光波导环形谐振腔的悬臂梁式传感器,通过一系列的微加工技术集成制造在SOI材料上.光学微腔是一种新型的光学谐振腔,当其在回音廊模式下(WGM)共振时可以检测到规则的透射谱图,该传感器通过测量透射谱的偏移来确定位移量.利用有限元分析法可以得到悬臂粱结构的最佳尺寸参数,利用时域有限差分方法(FDTD)可以得到环形腔投射谱的偏移特性.当使用跑道型谐振腔时,该新型传感器最高可以探测到10nm左右的位移量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严英占		2	2	1.0	1.0
2	闫树斌		6	30	3.0	5.0
3	刘俊		9	27	3.0	5.0
4	刘正		1	2	1.0	1.0