薄膜声体波谐振器的电磁场建模与仿真

• 作者: 王德苗 董树荣 金浩
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 声体波 射频谐振器 电磁场建模 介电常数
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 无线电电子学、电信技术
• 页码范围: 1477-1481
• 页数: 5页
• 分类号: TN62
• 字数: 3454字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2006.09.001

摘要

为了模拟薄膜声体波谐振器(FBAR)的电磁场(EM)分布特性,提出了一种新的FBAR建模方法.该方法从基本的一维弹性压电方程和三维麦克斯韦尔方程出发,结合电极与压电薄膜交界处机械应力与机械位移连续的边界条件,推导出了FBAR等效复介电常数的严格解.将电磁场和声场等效到一个复介电常数中,用等效复介电常数的形式来包含电声效应.并基于有限元方法对FBAR全波段进行了仿真.结果表明,该方法的仿真结果与实测数据基本一致,具有很好的准确性.与传统的电路模型比较,由该方法得到的模型能够实现场的不连续仿真和FBAR的电磁场分布与压电效应的实时仿真.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董树荣	浙江大学信息与电子工程学系	51	627	14.0	23.0
2	王德苗	浙江大学信息与电子工程学系	66	789	15.0	24.0
3	金浩	浙江大学信息与电子工程学系	27	227	10.0	14.0