薄膜体声波谐振器电极效应研究

• 作者: 刘婷 周胜男 张涛 解忧
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 薄膜体声波谐振器 电极效应 有效机电耦合系数
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 页码范围: 206-208
• 分类号: TB52|O42
• 语种: 中文

摘要

运用传输线路法推导了薄膜体声波谐振器（Thin Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR）的输入阻抗公式.利用输入阻抗公式,研究了不同材料FBAR构成中电极材料和厚度对FBAR有效机电耦合系数的影响,FBAR最大有效机电耦合系数优化理论.由结论可知,FBAR的有效机电耦合系数随电极的厚度和密度变化明显,在低密度电极材料时,电极厚度增大明显降低了FBAR的有效机电耦合系数;同时,在电极厚度较厚时,电极密度越大越有利于获取高的有效机电耦合系数.所得结论,可应用于FBAR设计与优化中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解忧	西安科技大学理学院	25	56	4.0	6.0
2	张涛	西安科技大学理学院	31	105	7.0	9.0
3	刘婷	西安科技大学理学院	4	0	0.0	0.0
4	周胜男	西安科技大学理学院	2	3	1.0	1.0