热激励微梁谐振器的温度分布和谐振振幅

• 作者: 刘君华 张声良 朱长纯 段捷 韩建强
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 热激励 微悬臂梁 微桥 谐振器 谐振振幅
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 页码范围: 592-595
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.01
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2002.06.011

摘要

对热激励微梁谐振器的结构进行了合理的简化,用解析方法求出了交变热源激励的微悬臂梁和微桥谐振器的温度分布:在激励点附近,交变温度的幅度最大;远离激励点时,幅度趋于0.基于该温度分布,推导出了在"热膨胀效应"作用下微桥谐振器的谐振振幅.该计算方法利用振型函数来计算谐振时桥长度的伸长量,并考虑了内应力对振幅的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘君华	西安交通大学电子与信息工程学院	224	3216	28.0	45.0
2	朱长纯	西安交通大学电子与信息工程学院	215	2372	22.0	41.0
3	张声良	西安交通大学电子与信息工程学院	6	57	4.0	6.0
4	韩建强	西安交通大学电子与信息工程学院	13	121	6.0	11.0
5	段捷		1	9	1.0	1.0