真空中谐振微梁的品质因数

• 作者: 刘君华 吴浩杨 朱长纯 李炳乾
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 阻尼特性 品质因数 谐振微梁
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.1999.03.006

摘要

考虑到谐振微梁振动时,撞击在微梁两侧的分子数目和分子速率分布的差异,对Kadar等人提出的撞击微梁的分子速率分布函数做了修正.利用修正后的模型,对真空中运动微梁的品质因数进行了理论分析.结果表明,修正后的理论值比原理论值与实验值符合得更好,对于谐振微梁结构参数的优化设计具有一定的指导意义.同时,在高真空区域,考虑了谐振微梁本征阻尼与分子碰撞耦合效应,消除了原有处理方法在该区域出现的折点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘君华		224	3216	28.0	45.0
2	朱长纯		215	2372	22.0	41.0
3	李炳乾		7	92	3.0	7.0
4	吴浩杨		1	5	1.0	1.0