三表面干涉条纹空域傅里叶分析

• 作者: 徐建程 柴立群 石琦凯 许乔 邓燕
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 干涉测量 傅里叶分析 多表面干涉条纹 平行平板
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 1260-1264
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.09.024

摘要

为了准确测量透射平行平板,提出了单幅三表面干涉条纹空域傅里叶分析法,根据三表面干涉条纹频谱的旁瓣位置及峰值不同,分别提取平板前、后表面的面形及厚度变化等信息.通过与相移法(PSI)对比实验发现,该方法测量准确且重复性高.分析了两种方法各自的主要误差并量化:相移法中平板后表面反射光对前表面测量的影响;傅里叶分析法中的边界效应,离轴像差和平板材料均匀性引入的测量误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许乔		82	1074	17.0	27.0
2	石琦凯		17	184	8.0	13.0
3	徐建程		20	191	9.0	13.0
4	柴立群		32	329	12.0	16.0
5	邓燕		15	144	8.0	11.0