电磁激励的硅谐振梁设计和有限元分析

• 作者: 潘军 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振频率 电磁激励 双端固支梁 有限元
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微型压力传感器
• 页码范围: 1835-1839
• 页数: 5页
• 分类号: TP2
• 字数: 2314字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.140

摘要

介绍了电磁激励硅谐振梁的激励和检测原理,给出了双端固支的硅谐振梁谐振频率公式,并利用该公式分析了双端固支梁的谐振频率和梁尺寸的关系.本文利用有限元软件模态分析计算了三种不同的谐振频率情况,并逐一加以比较分析.本文还利用有限元软件对受力弯曲的工字梁做了静态分析,从而得出了在一定磁场力作用下的应力分布图,从而对压敏电阻的设计提供了一定的依据.