一种新型的分布式MEMS移相器的小型化设计

• 作者: Lee Jong-Chul 吴群 唐恺 杨国辉 贺训军 金博识
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS 分布式MEMS传输线 金属-绝缘体-金属电容 MEMS金属桥 移相器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1885-1888
• 页数: 4页
• 分类号: TN62
• 字数: 2522字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.153

摘要

通过在共面波导信号线上贴敷低介电常数的薄层绝缘介质,使得MEMS金属桥与共面波导信号线在"关"态下形成MIM电容的方法,实现了提高"关""开"两种状态下的电容比,从而提高了单位长度上的相移量.与传统的设计方法相比,在达到同样相移量指标的情况下仅需少量的MEMS金属桥就可以实现,工作的可靠性得到提高,未封装MEMS移相器器件的总体尺寸可以减小60%左右,此外由于在"关"态下,金属桥直接贴敷在介质表面上而不会随着外界环境震动,因此移相器的相移精度显著的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴群	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	77	471	10.0	16.0
2	杨国辉	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	29	173	7.0	11.0
3	金博识	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	7	43	4.0	6.0
4	贺训军	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	16	40	4.0	5.0
8	唐恺	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	3	15	2.0	3.0
9	Lee Jong-Chul	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	1	10	1.0	1.0