气浮沉积技术

• 作者: 佐野三郎 孙福 张赋升 明渡纯 李京龙 熊江涛 许小静 都筑明博
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: AD法 MEMS PZT 冷喷涂 热喷涂
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 177-180
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2473字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2006.02.012

摘要

气浮沉积法简称AD法,是一种新近开发的表面涂层制备方法,属于热喷涂技术范畴.AD法由低真空沉积室,喷咀,粉末雾化室,机械真空泵等组成.AD法具有沉积温度低(室温),沉积率高,涂层密度高,结合强度高等优点.AD法的一个突出的应用就是制备铁电薄膜陶瓷涂层,如PZT (Pb(Zr,Ti)O3).AD法制备的PZT涂层成分均匀,且由于沉积中的液相烧结机理而致密化.退火处理可以很好地提高PZT涂层的铁电特性.载流气体种类对PZT涂层的结合强度没有明显影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李京龙	西北工业大学材料学院	116	845	15.0	22.0
2	张赋升	西北工业大学材料学院	63	526	13.0	19.0
3	熊江涛	西北工业大学材料学院	64	603	14.0	22.0
4	孙福	西北工业大学材料学院	7	46	5.0	6.0
5	许小静	西北工业大学材料学院	6	59	5.0	6.0