用于微全分析系统的数字化微流控芯片的研究

• 作者: 刘理天 吴建刚 岳瑞峰 康明 曾雪锋 王喆垚 胡欢
• 来源期刊: 分析化学
• 学科: 化学
• 关键词: 数字化微流控芯片 微机械 表面张力 介质上电润湿
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器装置与实验技术
• 页码范围: 1042-1046
• 页数: 5页
• 分类号: O6
• 字数: 3976字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3820.2006.07.034

摘要

研制出一种基于介质上电润湿(electrowetting-on-dielectric,EWOD)机制的可编程数字化微流控芯片.它采用"三明治"结构:受控离散液滴被夹在两极板之间;下极板以硅为衬底,掺杂多晶硅作为芯片微电极阵列,其上涂覆有Teflon(R) AF1600薄膜的SiO2作为疏水性介质层;上极板是涂覆有Teflon(R) AF1600疏水薄膜的透明电极.通过分析数字化微流控系统的基本操作(离散液滴的传输、拆分及混合)的物理机理和模拟优化,在35 V低驱动电压下实现了约0.35 μl和0.45 μl去离子水离散液滴的传输和合并,并在70 V驱动电压下实现了0.8 μl液滴的拆分等操作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	岳瑞峰	清华大学微电子学研究所	67	379	11.0	15.0
2	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
3	吴建刚	清华大学微电子学研究所	21	236	10.0	14.0
4	曾雪锋	清华大学微电子学研究所	16	183	9.0	13.0
5	康明	清华大学微电子学研究所	10	124	7.0	10.0
6	胡欢	清华大学微电子学研究所	5	34	3.0	5.0
7	王喆垚	清华大学微电子学研究所	16	139	6.0	11.0