圆柱形反应器鞘区离子平均动能的径向分布

• 作者: 冯信华 李战春 王敬义 陶甫廷
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体鞘层 分布函数 平均动能 刻蚀与纯化
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2201字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2006.05.015

摘要

针对鞘层结构,建立了鞘层模型和离子速度分布函数,导出了离子平均动能的积分表达式并得出数值积分的结果.用级数的两项拟合平均动能积分表达式的对数项,积分得到解析结果和简化结果.应用积分表达式、解析式及简化式进行计算,得出了圆柱形鞘层内不同位置(半径)处的粒子平均动能.结果表明鞘层越厚、粒子平均自由路程越小,则它们的差别越小.它们可有效地应用于散布在反应室各处粉体的刻蚀和纯化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王敬义	华中科技大学电子科学与技术系	17	44	4.0	5.0
2	李战春	华中科技大学网络与计算中心	20	126	7.0	10.0
3	陶甫廷	广西工学院电子信息与控制工程系	17	58	5.0	5.0
4	冯信华	华中科技大学电子科学与技术系	6	17	3.0	4.0