MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究

• 作者: 伍康 刘力涛 叶雄英 周兆英 郭琳瑞 陈烽
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 纳机电系统(NEMS) 碳纳米管 场发射
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳材料制备、表征与性能
• 页码范围: 2340-2343
• 页数: 4页
• 分类号: TB3
• 字数: 2743字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.273

摘要

利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜,对于4μm的发射间隙、该薄膜的场发射开启电压约为3.6V～4V,发射电压20V时的发射电流可至28μA.这种"post-MEMS"的碳纳米管薄膜组装方法具有工艺简单的特点,同时避免了碳纳米管生长对MEMS工艺环境以及器件的污染、破坏,实现了纳米材料组装与MEMS工艺的兼容.