基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真

• 作者: 张凤田 王宏斌 金仁成 陈涛
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微气压传感器 模糊控制 模糊PID控制 MATLAB仿真
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微型压力传感器
• 页码范围: 1871-1874
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2749字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.149

摘要

针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试,对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法,对实验进行了建模及MATLAB仿真,并比较了两种算法的控制效果.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小,控制效果明显优于模糊控制算法.本仿真结果为实现传感器所需真空测试环境1kPa～100kPa的实时气压控制提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈涛	大连理工大学微系统研究中心	22	335	11.0	18.0
2	金仁成	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	37	224	9.0	13.0
3	张凤田	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	9	27	3.0	5.0
4	王宏斌	大连理工大学微系统研究中心	3	43	3.0	3.0