基于SOC的微气压传感器研究

• 作者: 唐祯安 张凤田 江胜峰 王海霞 高仁璟
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微气压 测试系统 SOC AD590
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 155-157
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.052

摘要

研究了基于SOC的微气压测试系统的工作原理,设计了基于集成温度传感器的微气压测试系统.以AD590为例,实现了微气压测试和系统的单片集成.测试结果表明,在恒功率加热模式下,系统在一定的气压范围(1～100kPa)内,对微小气压的响应具有良好的线性性质,易于实现信号处理电路和传感电路的单片集成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安		142	1281	17.0	29.0
2	王海霞		37	1004	16.0	31.0
3	高仁璟		35	187	6.0	12.0
4	张凤田		9	27	3.0	5.0
5	江胜峰		2	2	1.0	1.0