利用光波导进行准分子激光打孔的加工系统研究

• 作者: 刘世炳 张帅 郭商勇 钱晓峰 陈涛
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光打孔 光波导 掩模
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 激光应用与系统
• 页码范围: 69-70
• 页数: 2页
• 分类号: TN2
• 字数: 2134字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2006.03.031

摘要

分析了现有准分子激光打孔系统的优缺点,研究了对经过光波导的光束进行掩模打孔的一套加工系统.对光波导的制作进行了分析,并进行了一系列实验,文中给出了试验结果和分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张帅	北京工业大学激光工程研究院	22	161	6.0	12.0
2	陈涛	北京工业大学激光工程研究院	77	383	12.0	17.0
3	刘世炳	北京工业大学激光工程研究院	33	139	7.0	10.0
4	郭商勇	北京工业大学激光工程研究院	3	20	3.0	3.0
5	钱晓峰	北京工业大学激光工程研究院	3	14	2.0	3.0