基于数值模拟的高准确度五步相移算法研究

• 作者: 罗志勇 陈允昌 陈朝晖 顾英姿
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 相移算法 五步算法 精密测长 相位误差
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 1687-1690
• 页数: 4页
• 分类号: TH774.3
• 字数: 3812字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2006.11.018

摘要

传统五步算法具有很好的准确度,但必须满足测量中无法实现的等步长相移条件,这在实际测量中无法使用.为此在双光束干涉原理的基础上,提出了一种改进型的五步算法,实现了在10 nm范围内任意步长的算法高准确度.通过数值模拟,结果表明:对于1 nm的步长测量误差、0.1%的信号测量误差,改进型五步算法的算法准确度优于0.001个相位周期,而且不需要等步长相移控制.改进型五步算法不仅技术上更易于实现,其结果也更加可靠,对于指导精密测长的实验和研究工作具有十分重要的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗志勇		35	216	8.0	13.0
2	陈允昌		6	127	6.0	6.0
3	陈朝晖		10	73	4.0	8.0
4	顾英姿		10	80	5.0	8.0