一种亚波长偏振分波/合波器的研制

• 作者: 刘文 吴国阳 周立兵 张亮 李承芳 王定理
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 偏振分束器 反应离子刻蚀 严格耦合波理论 亚波长光栅 消光比
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 集成光学
• 页码范围: 1048-1052
• 页数: 5页
• 分类号: TN256|O436.3
• 字数: 2721字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2006.07.018

摘要

针对传统偏振分束器窄波段、窄角度范围的不足,研制了一种在宽波段宽角度范围内具有180°分光功能的偏振分束器/耦合器.该器件基于线栅偏振器和亚波长光栅结构原理设计,利用半导体工艺的刻蚀技术制作.利用一维金属线栅对入射电磁波的偏振响应和亚波长光栅仅存在零级衍射的特性,实现了较宽的通带宽度与可接受角度范围、极大的分光角度、高消光比和低插入损耗.实验测得透射、反射消光比均大于20 dB,插入损耗小于0.5dB.通过自行搭建的微结构测试平台,测量了p、s光的透射率、反射率随入射角度变化的曲线,和严格耦合波理论模拟结果符合.深入分析了制作中的过刻蚀对性能产生的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李承芳	武汉大学物理科学与技术学院	33	405	11.0	19.0
2	张亮	武汉大学物理科学与技术学院	46	171	9.0	11.0
4	刘文		9	68	5.0	8.0
5	周立兵		2	29	2.0	2.0
6	吴国阳		2	29	2.0	2.0
9	王定理		2	20	1.0	2.0